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半導體行業潔凈室塵埃粒子濃度等級劃分原則

日期:2022-04-11 15:56
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摘要: 半導體行業潔凈室塵埃粒子濃度等級劃分原則 無塵車間也叫潔凈廠房、潔凈室(Clean Room)、無塵室,是指將一定空間范圍內空氣中的微粒子、有害空氣、細jun等污染物排除,并將室內的溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計的房間。即不論外在空氣條件如何變化,其室內均能具有維持原先所設定要求潔凈度、溫濕度及壓力等級能特性。 潔凈室的發展與現代工業、高技術密切聯系在一起。由于精密機械工業(如陀螺儀、微型軸承等加工)、半導體工業(如大規模...

半導體行業潔凈室塵埃粒子濃度等級劃分原則

無塵車間也叫潔凈廠房、潔凈室(Clean Room)、無塵室,是指將一定空間范圍內空氣中的微粒子、有害空氣、細jun等污染物排除,并將室內的溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計房間。即不論外在空氣條件如何變化,其室內均能具有維持原先所設定要求潔凈度、溫濕度及壓力等級能特性。

潔凈室的發展與現代工業、技術密切聯系在一起。由于精密機械工業(如陀螺儀、微型軸承等加工)、半導體工業(如大規模集成電路生產)等對環境的要求,促進了潔凈室技術的發展。國內曾統計過,在無潔凈級別的要求的環境下生產MOS電路管芯的合格率僅10%~15%,64為儲存器僅2%。目前在精密機械、半導體、宇航、原子能等工業中應用潔凈室已相當普遍。

經濟和科技發達的國家和地區都有自己的空氣潔凈標準和規范標準,都規定了有關的潔凈度等級,我國于1984年頒布《潔凈廠房設計規范》(GBJ73-84),1996年該規范進行了較大的修改,1990年頒布《潔凈室施工及驗收規范》(JGJ71-90)以指導施工和驗收的重要文件。依據美國聯邦政府頒布的標準【FederalAtandard(FS)209E,1992】,可將無塵室分為六級:分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級。

如果無塵室的等級只用塵粒數目來敘述,則可假設塵粒的尺寸是0.5um,無塵室等級應以特定塵粒尺寸的級數來表示。例如:10級在0.2um(塵粒尺寸在0.2um或更大下,密度不大于75顆/立方英尺),1級在0.1um(塵粒尺寸在0.1um或更大下,密度不大于35顆/立方英尺)。

1級;這個級別的無塵車間主要用于制造集成電路的微電子工業,對集成電路的準確要求位亞微米。

10級;這個級別的無塵車間主要用于帶寬小于2微米的半導體工業。

100級;很多人認為。這是使范圍面廣,因而是重要的無塵車間。人們常常錯誤地將100級潔凈室稱為無菌室,以說明“無菌”的或“無塵”的環境要求,100級無塵室可用于醫藥工業的無菌制造工藝等,這一潔凈室大量應用于植入體內物品的制造,外科手術,包括集成器的制造,那些對細jun感染特別敏感的病人的隔離治iao。

1000級;這個級別的無塵車間主要用于高質量光學產品的生產,還用于測試,裝配高質量微型軸承等。

10000級;萬級無塵車間用于液壓設備或氣壓設備的裝配,某些情況也用于食品飲料工業,此外,萬級無塵車間在醫工業中也很常用。

100000級;十萬級無塵車間用于很多的工業部門,比如光學產品的制造,用于較小的元器件制造大型的電子系統,液壓或氣壓的制造,食品飲料的生產,醫藥工業也常常使用這上等無塵車間。

無塵車間是一個多功能的歸納整休,多功能表現在以下兩個方面。

多專業--修建、空調、凈化、純水、純氣;

多參數--空氣潔凈度、jun濃度以及空氣的風量、壓力、噪聲、照度,萬級無塵車間強度高,隔熱保溫,可作天花圍護布局板材承重,抗彎抗壓,一般潔凈室比較少用梁柱。

無塵車間設計要點:

一、滿足生產工藝對建筑設計的要求,實現高性能的制造空間與設施。在對凈化工程 無塵車間進行總圖設計、平面布置、剖面設計時,須充分考慮場地的合理利用和滿足工藝生產的要求。在對凈化無塵車間工程的建筑進行設計時,須處理好潔凈區域與其相關的輔助區的關系。

二、實現能夠經濟運行的設施,節約能源、易于維護、降低造價。凈化無塵車間建筑設計,須確保凈化無塵車間內清潔、易清掃、防止內外污染,防止微粒產生、滯留和積存。

三、應使用可靠性高的運行設施,凈化無塵車間建筑設計,應確保建筑設備的安全運行,當一旦出現事故后,確保人員、財產安全。主體結構應具備同凈化無塵車間內的工藝裝備水平,建筑處理和裝飾水平相適應的等級水平,潔凈廠房的耐久性、耐火能力,裝修應與裝備水平相互協調,使投資長期長揮作用。

四、應實現能夠適應將來變化的設施,潔凈廠房的建筑平面和空間布局應具有靈活性,為生產工藝的調整創造條件。

上海瑞宏檢測技術有限公司研發生產的RH-FMS潔凈環境在線監測系統可以通過網絡接口、WiFi、485 (moudbus)等,將數據傳輸給PC終端,為用戶提供實時準確的車間微粒數量和凈化等級,專業應用于電子行業、制藥車間、食品、藥品車間、半導體、光學或精密機械加工車間等潔凈環境;用戶可根據需要增加或減少控制終端,可實現7*24實時遠程自動監測,有助于企業提升自動化、精細化管理。



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